第5．1．1條潔淨廠房內各潔淨室的空氣潔淨度等級的確定，應符合下列要求：

一、潔淨室內有多種工序時，應根據各工序的不同要求，採用不同的空氣潔淨度等級。

二、在滿足人生產工藝要求的前提下，潔淨室的氣流組級別，宜採用局部工作區空氣淨化和全室空氣淨化相結合的形式。

第5.1.2條 層流潔淨室和亂流潔淨室以及運行班次和使用時間不同的潔淨室，其淨化空氣調節系統均宜分開設置。

第5．1．3條潔淨室內的計算溫、溫度、應符合下列規定：

一、滿足生產工藝要求

二、生產工藝無溫、濕度要求時，潔淨室溫度為20～26度，溫度70度。

第5．1．4條潔淨室內應保証一定的新鮮空氣量，其數值頻取下列風量中的最大值；

一、亂流潔淨室總送風量的10%～30%，層流潔淨室總送風量的2～4%。

二、補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量。

三、保証室內每人每小時的新鮮空氣量不小於40立方米。

第5．1．5條潔淨區的清掃，宜採用移動式高效真空吸塵器或設置集中式真空吸塵系統。潔淨室內集中式真空吸塵系統的管道，應暗敷。

第5．1．6條在淨化空氣調節系統設計中，對施工和維護管理要求，可按附錄四和附錄五的規定。

第二節潔淨室正壓控制

第5．2．1條潔淨室必須維持一定的正壓。不同等級的潔淨室以及潔淨區與非潔淨區之間的靜壓差，應不小於4.9Pa，潔淨區與室外的靜壓差，應不小於9.8Pa。

第5．2．2條潔淨室維持不同的正壓值所需的正壓風量，宜按下式計算：

Q＝q1·Σ（q·L） （5.2.2）

式中 Q––維持潔淨室正壓值所需的正壓風量(米3/時)；

a––根據圍擴結構氣密性確定的安全係數，可取1.1～1.2；

q––當潔淨室為某一正壓值時，其圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量(米3/時·米)；

L––圍擴結構的縫隙長度(米)。

第5．2．3條圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量，可按表5.2.3採用。`